Desenvolvimento de um sistema RP/RTCVD para deposição de filmes finos isolantes e metalicos

Desenvolvimento de um sistema RP/RTCVD para deposição de filmes finos isolantes e metalicos

Orientador : Jacobus W. Swart === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica === Made available in DSpace on 2018-07-17T11:41:38Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Bonfim_MarlioJ.Couto_M.pdf: 9736447 bytes, checksum: 9bc085512ccc501eb2f30e31d53220db (MD5)...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Bonfim, Marlio J. Couto
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1992
Subjects:
Filmes finos
Online Access:BONFIM, Marlio J. Couto. Desenvolvimento de um sistema RP/RTCVD para deposição de filmes finos isolantes e metalicos. 1992. 1v. (varias paginações). Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/261440>. Acesso em: 17 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/261440

Internet

BONFIM, Marlio J. Couto. Desenvolvimento de um sistema RP/RTCVD para deposição de filmes finos isolantes e metalicos. 1992. 1v. (varias paginações). Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/261440>. Acesso em: 17 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/261440

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