Caracterização de filmes finos de carbono depositados por PECVD
Orientador: Edmundo da Silva Braga === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica === Made available in DSpace on 2018-07-20T14:57:33Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Amorim_HermesAntoniode_M.pdf: 3926898 bytes, checksum: 445bd487145c83bb548a91a8f4d40295...
Main Author: | Amorim, Hermes Antonio de |
---|---|
Other Authors: | UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS |
Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
[s.n.]
1995
|
Subjects: | |
Online Access: | AMORIM, Hermes Antonio de. Caracterização de filmes finos de carbono depositados por PECVD. 1995. 77f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/261359>. Acesso em: 20 jul. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/261359 |
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