Caracterização de filmes finos de carbono depositados por PECVD

Caracterização de filmes finos de carbono depositados por PECVD

Orientador: Edmundo da Silva Braga === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica === Made available in DSpace on 2018-07-20T14:57:33Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Amorim_HermesAntoniode_M.pdf: 3926898 bytes, checksum: 445bd487145c83bb548a91a8f4d40295...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Amorim, Hermes Antonio de
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1995
Subjects:
Filmes finos
Filmes finos - Propriedades óticas
Filmes finos - Propriedades elétricas
Online Access:AMORIM, Hermes Antonio de. Caracterização de filmes finos de carbono depositados por PECVD. 1995. 77f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/261359>. Acesso em: 20 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/261359

Internet

AMORIM, Hermes Antonio de. Caracterização de filmes finos de carbono depositados por PECVD. 1995. 77f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/261359>. Acesso em: 20 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/261359

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