Corrosão anisotropica e formação de superficie nanoestruturada de Si utilizando plasma de alta densidade

Corrosão anisotropica e formação de superficie nanoestruturada de Si utilizando plasma de alta densidade

Orientador: Jacobus Willibrordus Swart, Stanislav Alexandrovich Moshkalev === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-08-14T00:46:59Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Fischer_Clovis_D.pdf: 6613004 bytes, c...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Fischer, Clovis
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2009
Subjects:
Silício
Microeletrônica
Detectores
Corrosão
Silicon
Microelectronics
Sensors
Corrosion
Online Access:FISCHER, Clovis. Corrosão anisotropica e formação de superficie nanoestruturada de Si utilizando plasma de alta densidade. 2009. 180 p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260830>. Acesso em: 13 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260830

Internet

FISCHER, Clovis. Corrosão anisotropica e formação de superficie nanoestruturada de Si utilizando plasma de alta densidade. 2009. 180 p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260830>. Acesso em: 13 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260830

Similar Items