Projeto e fabricação de nao-estruturas por litografa interferometrica

Projeto e fabricação de nao-estruturas por litografa interferometrica

Orientadores: Edmundo da Silva Braga, Lucila Helena D. Cescato === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-08-11T12:33:55Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Carvalho_EdsonJosede_D.pdf: 5686598 bytes, checks...

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Bibliographic Details
Main Author: Carvalho, Edson Jose de
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2008
Subjects:
Nanotecnologia
Litografia
Holografia interferométrica
Grades de difração
Nanotechnology
Lithography
Holographic interferometry
Online Access:CARVALHO, Edson Jose de. Projeto e fabricação de nao-estruturas por litografa interferometrica. 2008. 155p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260706>. Acesso em: 11 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260706

Internet

CARVALHO, Edson Jose de. Projeto e fabricação de nao-estruturas por litografa interferometrica. 2008. 155p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260706>. Acesso em: 11 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260706

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