Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD

Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD

Orientador : Edmundo da Silva Braga === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-07-28T21:27:18Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Balachova_OlgaViatcheslavovna_D.pdf: 632788 bytes, checksum: fda5f9a4786f67b...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Balachova, Olga Viatcheslavovna
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2001
Subjects:
Semicondutores amorfos
Filmes finos de diamantes - Propriedades elétricas
Membranas (Tecnologia)
Medidas elétricas
Online Access:BALACHOVA, Olga Viatcheslavovna. Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD. 2001. 92p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260247>. Acesso em: 28 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260247

Internet

BALACHOVA, Olga Viatcheslavovna. Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD. 2001. 92p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260247>. Acesso em: 28 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260247

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