Transistor de efeito de campo (FET) para detecção quimica e bioquimica utilizando dieletrico de porta constituido de camada empilhada SiNx/SiOxNy

Transistor de efeito de campo (FET) para detecção quimica e bioquimica utilizando dieletrico de porta constituido de camada empilhada SiNx/SiOxNy

Orientadores: Peter Jurgen Tatsch, Jose Alexandre Diniz === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-08-13T19:29:46Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Souza_JairFernandesde_M.pdf: 4396662 bytes, checks...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Souza, Jair Fernandes de
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2009
Subjects:
Nitreto de silício
Transistores de efeito de campo
Silício
Deposição química de vapor
Silicon mitride
Field-effect transistor
Silicium
Chemical vapor deposition
Online Access:SOUZA, Jair Fernandes de. Transistor de efeito de campo (FET) para detecção quimica e bioquimica utilizando dieletrico de porta constituido de camada empilhada SiNx/SiOxNy. 2009. 175 p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259743>. Acesso em: 13 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259743

Internet

SOUZA, Jair Fernandes de. Transistor de efeito de campo (FET) para detecção quimica e bioquimica utilizando dieletrico de porta constituido de camada empilhada SiNx/SiOxNy. 2009. 175 p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259743>. Acesso em: 13 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259743

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