Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste

Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste

Orientador: Jacobus W. Swart === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica === Made available in DSpace on 2018-07-18T21:54:43Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Ramos_AntonioCelsoSaragossa_M.pdf: 4033740 bytes, checksum: c740eecdc7a2e85a5429be9bb98021c2...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Ramos, Antonio Celso Saragossa
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1993
Subjects:
Tungstênio - Corrosão
Circuitos integrados
Engenharia do plasma
Online Access:RAMOS, Antonio Celso Saragossa. Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste. 1993. [86] f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259220>. Acesso em: 18 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259220

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RAMOS, Antonio Celso Saragossa. Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste. 1993. [86] f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259220>. Acesso em: 18 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259220

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