Contribuição ao estudo dos processos de corrosão de fotorresiste por plasma ionico e por ion reativo

Contribuição ao estudo dos processos de corrosão de fotorresiste por plasma ionico e por ion reativo

Orientador: Edmundo da Silva Braga === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas === Made available in DSpace on 2018-07-17T07:44:27Z (GMT). No. of bitstreams: 1 CostaFilho_CiceroFerreiraFernandes_M.pdf: 1992645 bytes, checksum: b9f016046fac6a5a7...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Costa Filho, Cicero Ferreira Fernandes
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1985
Subjects:
Corrosão
Química de plasma
Íons
Online Access:COSTA FILHO, Cicero Ferreira Fernandes. Contribuição ao estudo dos processos de corrosão de fotorresiste por plasma ionico e por ion reativo. 1985. 119f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258908>. Acesso em: 17 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258908

Internet

COSTA FILHO, Cicero Ferreira Fernandes. Contribuição ao estudo dos processos de corrosão de fotorresiste por plasma ionico e por ion reativo. 1985. 119f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258908>. Acesso em: 17 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258908

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