Dispositivo de plasma atmosférico com precursor e sua aplicação em deposição polimérica

Dispositivo de plasma atmosférico com precursor e sua aplicação em deposição polimérica

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Bibliographic Details
Main Author: Reis, Diego Glauco Azarias [UNESP]
Other Authors: Universidade Estadual Paulista (UNESP)
Language:Portuguese
Published: Universidade Estadual Paulista (UNESP) 2017
Subjects:
Plasma em pressão atmosférica
Microplasmas
Descarga por barreira dielétrica
Hexametildissiloxano
PECVD
Filme fino
Atmospheric pressure plasma
Dieletric barrier discharge
Hexamethyldisiloxane
Thin film
Online Access:http://hdl.handle.net/11449/150392

Internet

http://hdl.handle.net/11449/150392

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