Desenvolvimento de um sistema a jato de plasma obtido em c?todo oco para deposi??o de filmes finos
Made available in DSpace on 2014-12-17T15:14:59Z (GMT). No. of bitstreams: 1 EdalmyOA_DISSERT.pdf: 5395204 bytes, checksum: aa327d82551c66fd74b45b2c66f1d4ed (MD5) Previous issue date: 2003-11-25 === Coordena??o de Aperfei?oamento de Pessoal de N?vel Superior === Foi constru?do e testado um novo si...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade Federal do Rio Grande do Norte
2014
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://repositorio.ufrn.br:8080/jspui/handle/123456789/16615 |