Efeito do eletrodo de platina e da passivação com enxofre na formação de filmes dielétricos sobre germânio
As estruturas metal-óxido-semicondutor (MOS) são o coração dos transistores de efeito de campo. O estudo e caracterização físico-química desses dispositivos foram a chave para o avanço da tecnologia do Si na indústria microeletrônica. Hoje, a ciência busca novos materiais para a produção de disposit...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10183/98337 |