Propriedades físico-químicas e características elétricas de estruturas dielétrico/SiC
Na presente Tese, foi investigado o efeito de tratamentos térmicos reativos nas propriedades físico-químicas e, em alguns casos, nas propriedades elétricas de filmes de SiO2 crescidos termicamente sobre carbeto de silício. Foram abordados os principais processos que visam melhorar as propriedades el...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10183/13662 |