Metrologia óptica de superfícies e filmes dielétricos com extensão a recobrimentos de microestrutura inomogenea
Em nosso trabalho, temos como objetivo a caracterização óptica de superfícies, filmes homogêneos e filmes inomogêneos. Utilizamos ao todo cinco técnicas experimentais, sendo três delas estendidas à caracterização de filmes inomogêneos com índice gradual. Estas extensões, o principal aspecto inovador...
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Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
2015
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Online Access: | http://hdl.handle.net/10183/119646 |