Integrierte Hochvolt-Ansteuerelektronik für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb

Integrierte Hochvolt-Ansteuerelektronik für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb

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Die vorliegende Arbeit behandelt integrierte Hochvolt-Schaltungen für die Ansteuerung elektrostatisch arbeitender Mikroaktoren und Mikroaktorarrays. Im Besonderen wird auf die Gesichtspunkte der Treiberschaltungen von Torsionsspiegelarrays eingegangen. Es werden verschiedene Verstärkerbetriebsarten...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Heinz, Steffen
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 2006
Subjects:
Hochvolt-Elektronik
Hochvolt-Verstärker
Hysteresis Puls Width Modulation
Level-Shifter
Mikroaktorarray
Puls Width Modulation
Silicon On Insulator
Systemintegration
Torsionsspiegel
ddc:620
Aktor
Ansteuerung
Integrierte Schaltung
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200601284
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200601284
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5241/data/Diss_PE-Abgabe.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5241/20060128.txt
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