Integrierte Hochvolt-Ansteuerelektronik für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb
Die vorliegende Arbeit behandelt integrierte Hochvolt-Schaltungen für die Ansteuerung elektrostatisch arbeitender Mikroaktoren und Mikroaktorarrays. Im Besonderen wird auf die Gesichtspunkte der Treiberschaltungen von Torsionsspiegelarrays eingegangen. Es werden verschiedene Verstärkerbetriebsarten...
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2006
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| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200601284 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200601284 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5241/data/Diss_PE-Abgabe.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5241/20060128.txt |