Röntgenografische Charakterisierung von Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten

• Main Author: Kaune, Gunar
• Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
• Format: Dissertation
• Language: deu
• Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 2006
• Subjects: Indium-Zinn-Oxid; Röntgenreflektometrie; reaktives Magnetron-Sputtern; ddc:530; Eigenspannung; Gitterkonstante; Röntgenbeugung
• Online Access: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200600032; http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200600032; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5118/data/da_kaune.pdf; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5118/20060003.txt

Mittels reaktivem Magnetron-Sputtern hergestellte Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten wurden mit den Methoden der Röntgendiffraktometrie und Röntgenreflektometrie charakterisiert. Es konnte gezeigt werden, dass die Wahl des Arbeitspunktes bei der Schichtabscheidung erheblichen Einfluss auf Kristallitorientierung, Gitterkonstante und Größe der Schichtspannung hat. Zusätzlich wurden mittels des Langford-Verfahrens Korngröße und Mikrospannungen bestimmt. Im Rahmen der röntgenografischen Spannungsmessung zeigten sich nichtlineare Verläufe der Dehnung über sin²Ψ, die mit dem Kornwechselwirkungsmodell nach Vook und Witt erklärt werden.