Röntgenografische Charakterisierung von Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten
Mittels reaktivem Magnetron-Sputtern hergestellte Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten wurden mit den Methoden der Röntgendiffraktometrie und Röntgenreflektometrie charakterisiert. Es konnte gezeigt werden, dass die Wahl des Arbeitspunktes bei der Schichtabscheidung erheblichen Einfluss auf Kristallitor...
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| Format: | Dissertation |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2006
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200600032 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200600032 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5118/data/da_kaune.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5118/20060003.txt |