Ordnungsreduktion von elektrostatisch-mechanischen Finite Elemente Modellen für die Mikrosystemtechnik
In der vorliegenden Arbeit wird eine Prozedur zur Ordnungsreduktion von Finite Elemente Modellen mikromechanischer Struktur mit elektrostatischem Wirkprinzip entwickelt und analysiert. Hintergrund der Ordnungsreduktion ist eine Koordinatentransformation von lokalen Finite Elemente Koordinaten in glo...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Doctoral Thesis |
Language: | deu |
Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2005
|
Subjects: | |
Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200501368 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200501368 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5058/data/Dissertation_FBennini.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5058/20050136.txt |