Elektronische Eigenschaften von Diamant und diamantartigen Kohlenstoffen

Im Hinblick auf das immense Potential von Diamant als Material für die Mikroelektronik wurden im Rahmen dieser Arbeit undotierte und dotierte Diamantfilme mittels chemischer Gasphasenabscheidung auf Silizium präpariert und anschließend auf ihre elektronischen Eigenschaften hin untersucht. Für Letzte...

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Bibliographic Details
Main Author: Waidmann, Stephan
Other Authors: Technische Universität Dresden, Mathematik und Naturwissenschaften, Physik, Institut für Festkörper- und Werkstofforschung (IFW)
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden 2001
Subjects:
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-997953406187-81897
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-997953406187-81897
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/1586/997953406187-8189.pdf