Elektronische Eigenschaften von Diamant und diamantartigen Kohlenstoffen
Im Hinblick auf das immense Potential von Diamant als Material für die Mikroelektronik wurden im Rahmen dieser Arbeit undotierte und dotierte Diamantfilme mittels chemischer Gasphasenabscheidung auf Silizium präpariert und anschließend auf ihre elektronischen Eigenschaften hin untersucht. Für Letzte...
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Format: | Doctoral Thesis |
Language: | deu |
Published: |
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
2001
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Subjects: | |
Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-997953406187-81897 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-997953406187-81897 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/1586/997953406187-8189.pdf |