Optische Strukturierung ultradünner funktioneller Polymerfilme

Optische Strukturierung ultradünner funktioneller Polymerfilme

Im Rahmen dieser Arbeit wurde die Strukturierbarkeit ultradünner, funktioneller Polymerfilme anhand von Diazosulfonat-Terpolymer- und Aminoterpolymer-Schichten untersucht. Beide Polymersysteme enthalten eine photoaktive Gruppe in der Seitenkette, die sich durch gezielte UV-Bestrahlung verändern läßt...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Trogisch, Sven
Other Authors: Technische Universität Dresden, Mathematik und Naturwissenschaften, Physik, Institut für Angewandte Photophysik
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden 2003
Subjects:
Funktionswerkstoffe
Nahfeld-Lithographie
Nano-Strukturen
Nanotemplate
SNOM
funktionelle Polymere
optische Nahfeld-Strukturierung
ultradünne organische Polymer-Filme
NSOM
functional materials
functional polymers
nano-structures
nano-templates
near-field lithography
optical near-field structuring
ultra-thin organic polymerfilms
ddc:36
rvk:ZN 4170
Diazosulfonate
Photolithographie <Halbleitertechnologie>
Polymerfilm
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1052902805796-39177
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1052902805796-39177
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/1028/1052902805796-3917.pdf

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1052902805796-39177
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1052902805796-39177
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/1028/1052902805796-3917.pdf

Similar Items