Elektrische Charakterisierung und Defektanalytik von Silizium mit MDP und MD-PICTS
Die Visualisierung bisher nicht nachweisbarer Defekte in hochwertigem Silizium konnte durch die Entwicklung neuer hochempfindlicher Mikrowellendetektionsverfahren erreicht werden. Dies eröffnet eine Vielzahl von Möglichkeiten zur kontaktlosen und zerstörungsfreien Charakterisierung von Halbleitern....
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Technische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola"
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:105-1645171 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:105-1645171 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/2162/PhysikDornichKay164517.pdf |