Entwicklung einer neuen Technologie zur Probenpräparation für die Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM) auf der Basis der Ionenfeinstrahlbearbeitung
Aufgabe des Projektes war die Entwicklung einer neuen Technologie zur Probenpräparation für die Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM) auf der Basis der Ionenfeinstrahlbearbei-tung. Dazu wurden Prozesse der ionenstrahlgestützten Abtragung (Sputtern), der Abschei-dung, des Probenhandling sowie sys...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | deu |
| Published: |
Forschungszentrum Dresden
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-29653 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-29653 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/2965/4086.pdf |