Harte amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten mittels mittelfrequenzgepulster Plasmaentladungen

Harte amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten mittels mittelfrequenzgepulster Plasmaentladungen

Harte amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten (a-C:H) haben in den letzten Jahrzehnten stark an Bedeutung gewonnen. Diese Art von Hartstoffschichten wird zunehmend für die Reduzierung von Reibung und Verschleiß in unterschiedlichen Bereichen eingesetzt. In der Forschung, aber auch für Kleins...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Günther, Marcus
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 2012
Subjects:
PECVD
amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten
optische Emissionsspektroskopie
asymmetrisch bipolar gepulste Spannung
Mittelfrequenz-Anregung
Elektron-Zyklotron-Resonanz
thermische Analyse
mechanische Eigenschaften
elastische Rückstreudetektionsanalyse
Wasserstoffanteil
plasma enhanced chemical vapor deposition
amorphous hydrogenated carbon layers
optical emission spectroscopy
asymmetric bipolar pulsed voltage
ECR deposition
ddc:530
Plasmaabscheidung
Diamantähnlicher Kohlenstoff
Atomemissionsspektroskopie
ECR-Beschichten
Mittelfrequenz
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-95197
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-95197
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/9519/Dissertation_Marcus_Guenther.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/9519/signatur.txt.asc

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-95197
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-95197
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/9519/Dissertation_Marcus_Guenther.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/9519/signatur.txt.asc

Similar Items