Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium
Die Arbeit behandelt die zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung in Silizium von 3D-integrierten Mikrosystemen am Beispiel Wolfram gefüllter TSVs. Dafür wurden die Verfahren der röntgenographischen Spannungsanalyse und der Raman-Spektroskopie genutzt. Interpretiert und verglichen wurden die Ergebn...
| Main Author: | |
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2014
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| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-124022 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-124022 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/12402/Dissertation_Uwe_Zschenderlein.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/12402/signatur.txt.asc |