Begründung und Optimierung eines Dünnschichtmodells zur Prognose optischer Eigenschaften oxidischer Beschichtungen durch in-situ Überwachung des Aufdampfprozesses.
Ein Dünnschichtmodell zur Prognose optischer Eigenschaften oxidischer Beschichtungen wurde entwickelt. Dies dient zur Simulation von Beschichtungsprozessen unter Berücksichtigung prozesstypischer Abscheidefehler. In Betracht gezogen werden dabei Schwankungen in der Schichtdicke und den optischen Kon...
| Main Author: | |
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| Format: | Dissertation |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901675 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901675 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5889/data/diplom.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5889/20090167.txt |