Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung
In der vorliegenden Arbeit wird der reaktive ITO-Abscheidprozess unter Verwendung metallischer In:Sn-Targets eingehend untersucht. Die Schichtabscheidung erfolgt am symmetrisch bipolar gepulstem Dual-Magnetron sowohl auf ruhende als auch bewegte Substrate. Die Arbeit umfasst zwei Teilgebiete. Einer...
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200800783 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200800783 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5598/data/Dissertation_RKleinhempel.PDF http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5598/20080078.txt |