In situ- und online-Raman-Spektroskopie zur Analyse von Halbleiterheterostrukturen aus ZnSxSe1-x und Gruppe-III-Nitriden

In situ and online Raman spectroscopy - also known as Raman monitoring - offers the excellent opportunity among other possibilities for the evaluation of Raman spectra to investigate semiconductor layers during their growth without any interruption. Not only the surface properties of such layers can...

Full description

Bibliographic Details
Main Author:	Schneider, Andreas
Other Authors:	TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format:	Doctoral Thesis
Language:	deu
Published:	Universitätsbibliothek Chemnitz 2002
Subjects:	Spatial-Correlation-Modell Schichtdickenabhängigkeit ZnSxSe(1-x) ZnSe:N GaAs-Nitridierung Schichtverspannungen Stickstoffplasma in situ- und online-Monitoring resonante Raman-Streuung II-VI-Halbleiter Gruppe-III-Nitride metallorganische Gasphasenepitaxie ddc:530 Galliumnitrid Kristallmorphologie Dotierter Halbleiter Halbleiter Molekularstrahlepitaxie Raman-Spektroskopie
Online Access:	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200200367 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200200367 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4503/data/PhD_Schneider.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4503/data/.bash_logout http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4503/data/.bash_profile http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4503/data/.bashrc http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4503/data/.cshrc http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4503/data/.login http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4503/data/.logout http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4503/20020036.txt

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