Modellierung und Simulation eines mikromechanischen Drehratensensors

Modellierung und Simulation eines mikromechanischen Drehratensensors

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In der vorliegenden Arbeit wird ein neuer mikromechanischer Drehratensensor nach dem Stimmgabelprinzip vorgestellt. Die mechanische Sensorstruktur wird mit Hilfe der Bulkmikromechanik hergestellt und arbeitet nach dem elektrostatischen Wirkprinzip. Um große Amplituden zu erreichen, werden mech...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Billep, Detlef
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 2000
Subjects:
Simulatorkopplung
Squeeze Film Dämpfung
elektrostatisches Wirkprinzip
Kettenschwinger
Federgelenke
ddc:620
Mikromechanik
Modellbildung
Simulation
Drehratensensor
Modalanalyse
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200000938
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200000938
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4362/data/Billep_Diss.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4362/data/Billep_Diss.ps.zip
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4362/20000093.txt

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200000938
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200000938
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4362/data/Billep_Diss.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4362/data/Billep_Diss.ps.zip
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4362/20000093.txt

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