Röntgenstrukturuntersuchungen von Oxinitridschichten auf Chrom- und Zirkoniumbasis

Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden Röntgenanalysen an dünnen Schichten, die mittels reaktiver Magnetronzerstäubung hergestellt wurden, durchgeführt. Zuerst werden die theoretischen Grundlagen der Röntgenanalyse und der Herstellungsmethode behandelt. Es folgen Experimente an auf Chrom- und auf...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Collard, Stéphane
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 1999
Subjects:
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900141
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900141
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4247/data/these_o2.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4247/data/these_o2.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4247/19990014.txt