Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung

Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung

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Die Abscheidung dünner Schichten mit Hilfe von plasmagestützten Verfahren hat in den letzten Jahrzehnten als Technik zur Oberflächenveredelung und zur Herstellung funktioneller Schichten stark an Bedeutung gewonnen. Die Nichtgleichgewichtsbedingungen im Entladungsraum und an der Oberfläche der wachs...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Welzel, Thomas
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 1999
Subjects:
LANGMUIR-Sonde
Optische Emissionsspektroskopie
DC-Magnetronzerstäubung
HF-Magnetronzerstäubung
dünne Schichten
kubisches Bornitrid
hexagonales Bornitrid
ddc:620
ddc:660
ddc:530
Niederdruckentladung
Plasmadiagnostik
Laserinduzierte Fluoreszenz
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900066
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900066
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4239/data/welzel.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4239/data/welzel.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4239/19990006.txt

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900066
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900066
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4239/data/welzel.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4239/data/welzel.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4239/19990006.txt

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