Abscheidung von SiC und SiC + Si auf Kohlenstoffsubstraten und deren chemische Oberflaechenmodifizierung

Abscheidung von SiC und SiC + Si auf Kohlenstoffsubstraten und deren chemische Oberflaechenmodifizierung

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Systematische Untersuchungen zur Abscheidung von Siliciumcarbid und Siliciumcarbid mit coabgeschiedenem Silicium auf Kohlenstoffsubstraten werden in dieser Arbeit vorgestellt. Die Abscheidung erfolgte mittels thermischer CVD in einer CH3SiCl3-H2-Ar-Atmosphaere. Dabei koennen neue Zusammenhaenge zwis...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Neuhaeuser, Jens
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 1997
Subjects:
Methyltrichlorsilan
Coabscheidung von Si
SiC
Thermische CVD
Nitridierung
Oberflaechenmodifizierung
Selektive Hochtemperaturreaktionen
ddc:660
ddc:600
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700458
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700458
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/top.html
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/19970045.txt
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap1_2a.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap3.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap4b.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap51_53.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap54a.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap6.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap7_end.ps
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