Abscheidung von SiC und SiC + Si auf Kohlenstoffsubstraten und deren chemische Oberflaechenmodifizierung

Systematische Untersuchungen zur Abscheidung von Siliciumcarbid und Siliciumcarbid mit coabgeschiedenem Silicium auf Kohlenstoffsubstraten werden in dieser Arbeit vorgestellt. Die Abscheidung erfolgte mittels thermischer CVD in einer CH3SiCl3-H2-Ar-Atmosphaere. Dabei koennen neue Zusammenhaenge zwis...

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Bibliographic Details
Main Author:	Neuhaeuser, Jens
Other Authors:	TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format:	Doctoral Thesis
Language:	deu
Published:	Universitätsbibliothek Chemnitz 1997
Subjects:	Methyltrichlorsilan Coabscheidung von Si SiC Thermische CVD Nitridierung Oberflaechenmodifizierung Selektive Hochtemperaturreaktionen ddc:660 ddc:600
Online Access:	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700458 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700458 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/top.html http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/19970045.txt http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap1_2a.ps http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap3.ps http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap4b.ps http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap51_53.ps http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap54a.ps http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap6.ps http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap7_end.ps

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