Untersuchung der Effekte niederenergetischen Ionen-Beschusses in Kohlenstoff- uind Siliziumsystemen auf der Grundlage von Molekulardynamik-Simulationen

Die Dissertation beschaeftigt sich mit der Analyse ballistischer Effekte, diein der Wechselwirkung niederenergetischer Ionen mit Oberflaechen kovalenter Festkoerper auftreten. Im Mittelpunkt stehen dabei Kohlenstoff- und Siliziumsysteme und Ionenenergien unter 100 eV. Das Eindringverhalten der hyper...

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Bibliographic Details
Main Author: Uhlmann, Sylke
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:English
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 1997
Subjects:
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700319
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700319
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4071/diss.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4071/diss.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4071/19970031.txt