Thermisch und elektronenstrahlinduzierte Mikrostrukturveraenderungen in Plasmapolymer-Metall-Compositschichten
Plasmapolymer-Metall-Compositschichten werden durch alternierende Plasmapolymerisation und thermische Verdampfung hergestellt. Dabei entsteht ein Mehrlagensystem aus Plasmapolymergrund-, Composit- und Plasmapolymerdeckschicht mit einer Gesamtdicke von ca. 100 nm. Die Informationen ueber Groesse, For...
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
1997
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700113 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700113 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4051/main.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4051/main.ps http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4051/19970011.txt |