Thermisch und elektronenstrahlinduzierte Mikrostrukturveraenderungen in Plasmapolymer-Metall-Compositschichten

Thermisch und elektronenstrahlinduzierte Mikrostrukturveraenderungen in Plasmapolymer-Metall-Compositschichten

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Plasmapolymer-Metall-Compositschichten werden durch alternierende Plasmapolymerisation und thermische Verdampfung hergestellt. Dabei entsteht ein Mehrlagensystem aus Plasmapolymergrund-, Composit- und Plasmapolymerdeckschicht mit einer Gesamtdicke von ca. 100 nm. Die Informationen ueber Groesse, For...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Werner, Jens
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 1997
Subjects:
Duenne Schichten
Composit
Metallpartikel
Plasmapolymer
ddc:600
ddc:530
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700113
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700113
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4051/main.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4051/main.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4051/19970011.txt

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700113
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700113
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4051/main.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4051/main.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4051/19970011.txt

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