Supraleitung in Gallium-implantiertem Silizium

Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der elektrischen Charakterisierung 10 nm dünner Schichten bestehend aus amorphen Ga-Nanoclustern eingebettet in Ga-dotiertes polykristallines Si. Die Herstellung der Schichten geschieht via Ionen-Implantation in Si-Wafer samt anschließender thermischer Aus...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Skrotzki, Richard
Other Authors: Technische Universität Dresden, Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden 2016
Subjects:
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-207365
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-207365
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/20736/Dissertation_Richard_Skrotzki_PDFA.pdf