Grenzflächenausbildung zwischen LiNbO3 (LiTaO3) und Barriereschichten für den Einsatz bei Metallisierungssystemen für SAW-Strukturen
Diese Dissertation beschäftigt sich mit der Grenzflächenausbildung von dünnen Tantal- und Titan-basierenden Schichten zu den piezoelektrischen Substratmaterialien Lithiumniobat sowie Lithiumtantalat, als Teil eines Schichtstapels für die Metallisierung akustischer Oberflächenbauelemente. Ziel ist es...
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
2016
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-201086 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-201086 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/20108/Dissertation_vogel_klein_archiv.pdf |