Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb
Resonante Mikrobauelemente mit elektrostatischem Antrieb finden seit einigen Jahren vermehrt Anwendung in vielen Bereichen der Technik. So beruhen beispielsweise Drehraten- oder Beschleunigungssensoren, die im Automobilbau eingesetzt werden auf diesem Prinzip. Neue Anwendungsfelder ergeben sich vor...
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
2016
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| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-200907 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-200907 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/20090/diss_klose.pdf |