Entwicklung eines miniaturisierten Ionenfilters und Detektors für die potentielle Anwendung in Ionenmobilitätsspektrometern

Entwicklung eines miniaturisierten Ionenfilters und Detektors für die potentielle Anwendung in Ionenmobilitätsspektrometern

Die Ionenmobilitätsspektrometrie ermöglicht eine selektive Detektion von niedrigkonzentrierten Gasen in Luft. Darauf beruhende Analysegeräte können verhältnismäßig einfach umgesetzt werden und in vielfältigen mobilen Einsatzszenarien wie der Umweltanalytik Anwendung finden. Die vorliegende Disserta...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Graf, Alexander
Other Authors: Technische Universität Dresden, Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden 2015
Subjects:
Gassensor
miniaturisiert
integriert
Gasanalyse
sensitiv
selektiv
ppm
ppb
Mikrosystemtechnik
MEMS
Volumenmikromechanik
Differenzionenmobilitätsspektrometer
Differenzionenmobilitätsspektrometrie
DMS
FAIMS
Ionenmobilitätsspektrometer
Ionenmobilitätsspektrometrie
IMS
gas sensor
spectrometer
miniaturized
ion mobility spectrometry
difference ion mobility spectrometry
bonded silicon on insulator
BSOI
BCB
wafer
silicon
micromachines micro systems technology
bulk micromachining
ddc:153
ddc:620
rvk:VG 8937
rvk:VG 8930
rvk:ZQ 3890
Gas
Spurengas
Analyse
Nachweis
Luft
Sensor
Filter
Detektor
Wafer
Silizium
Mikrofertigung
Bonden
Tiefenätzen
Bauelement
Konzept
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-163935
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-163935
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/16393/Dissertation_Graf_Neu.pdf

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-163935
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-163935
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/16393/Dissertation_Graf_Neu.pdf

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