Ortsaufgelöste Messung der Gitterverspannungen in Halbleitern mittels Dunkelfeld off-axis Elektronenholographie

Ortsaufgelöste Messung der Gitterverspannungen in Halbleitern mittels Dunkelfeld off-axis Elektronenholographie

Die Dunkelfeld off-axis Elektronenholographie (DFH) im Transmissionselektronenmikroskop ist eine nanoskalige Interferometriemethode, die es erlaubt, eine ausgewählte Beugungswelle eines Kristalls aufzuzeichnen und anschließend als zweidimensionale Amplituden- und Phasenverteilung zu rekonstruieren....

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Sickmann, Jan
Other Authors: Technische Universität Dresden, Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden 2015
Subjects:
Transmissionselektronenmikroskopie
Dunkelfeldholographie
Geometrische Phase
Gitterverspannung
Dehnungsmessung
mechanisch verspannte Halbleiterstrukturen
transmission electron microscopy
dark-field electron holography
geometric phase
lattice strain
strain mapping
strained semiconductor devices
ddc:530
rvk:UH 6300
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-160646
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-160646
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/16064/sickmann_dissertation_2014_a-1b.pdf

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-160646
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-160646
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/16064/sickmann_dissertation_2014_a-1b.pdf

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