Optische Kalibrierung von diffraktiven Mikrospiegelarrays
Diffraktive Mikrospiegelarrays sind eine seit Jahren etablierte innovative Lösung zur ortsaufgelösten Beleuchtungsmodulation im UV-Spektralbereich. Sie werden hauptsächlich als Schlüsselbauelement in mikrolithografischen Industrieanlagen eingesetzt. Gegenwärtige Untersuchungen befassen sich mit der...
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
2014
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| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-132819 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-132819 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/13281/Dirk%20Berndt%20-%20Optische%20Kalibrierung%20von%20diffraktiven%20Mikrospiegelarrays%20-%20TU.pdf |