Plasmaphysikalische Charakterisierung einer magnetfeldgestützten Hohlkathoden-Bogenentladung und ihre Anwendung in der Vakuumbeschichtung
Die vorliegende Dissertation behandelt Charakterisierung, Modellbildung sowie Anwendung einer magnetfeldgestützten Hohlkathoden-Bogenentladung. Hohlkathoden sind seit den 1960er Jahren Gegenstand grundlagen- sowie anwendungsorientierter Forschung und werden seit 20 Jahren am Fraunhofer-Institut für...
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
2013
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| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-101747 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-101747 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/10174/Zimmermann.pdf |