Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation
| Main Author: | |
|---|---|
| Language: | German |
| Published: |
Forschungszentrum Rossendorf
2010
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| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-30911 https://hzdr.qucosa.de/id/qucosa%3A21918 https://hzdr.qucosa.de/api/qucosa%3A21918/attachment/ATT-0/ |