Hochempfindliche resonante Gassensoren auf der Basis von einkristallinen Silizium-Plattenschwingern
Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Modellerstellung und Technologie eines gravimetrischen Gassensors für organische Gase. Die Besonderheit liegt in dem verwendeten Resonatortyp. Es handelt sich um einen lateral elektrostatisch angeregten quadratischen Plattenresonator, der mit einer Rez...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Published: |
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-201000101 https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19264 https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19264/attachment/ATT-0/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19264/attachment/ATT-1/ |