Hochempfindliche resonante Gassensoren auf der Basis von einkristallinen Silizium-Plattenschwingern

Hochempfindliche resonante Gassensoren auf der Basis von einkristallinen Silizium-Plattenschwingern

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Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Modellerstellung und Technologie eines gravimetrischen Gassensors für organische Gase. Die Besonderheit liegt in dem verwendeten Resonatortyp. Es handelt sich um einen lateral elektrostatisch angeregten quadratischen Plattenresonator, der mit einer Rez...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Grahmann, Jan
Other Authors: Dötzel, Wolfram
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 2010
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/670
ddc:670
Ersatzschaltbild
Gassensor
Viskoelastizität
Plattenresonator
electrostatic drive
elektrostatischer Antrieb
gas sensor
gravimetrisch
mass sensitivity
organische Gase
plate oscillator
volatile organic compounds (VOC)
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-201000101
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19264
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19264/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19264/attachment/ATT-1/

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-201000101
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19264
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19264/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19264/attachment/ATT-1/

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