Massendurchfluss- und Dichtemessung mit einer resonanten Messzelle in Volumenmikromechanik: Massendurchfluss- und Dichtemessungmit einerresonanten Messzelle in Volumenmikromechanik

Massendurchfluss- und Dichtemessung mit einer resonanten Messzelle in Volumenmikromechanik: Massendurchfluss- und Dichtemessungmit einerresonanten Messzelle in Volumenmikromechanik

Die vorliegende Arbeit stellt einen Beitrag zur kontinuierlichen Bestimmung von Massendurchfluss sowie Dichte für den Bereich der Mikroverfahrenstechnik dar. Verschiedene Messverfahren und Sensoren werden vorgestellt und diskutiert. Die fest eingespannte durchflossene Messröhre in resonanter Schwing...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Frahnow, Roman
Other Authors: Dötzel, Wolfram
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: Der Andere Verlag 2008
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/600
ddc:600
Biegeschwingung
Dichtebestimmung
Koppelschwingung
Biegeschwinger
Corioliskraft
Gekoppelte Schwinger
Kapazitive Schwingungsmessung
Kontinuierlicher Dichtesensor
Massendurchflussmessung
Mechanischer Resonator
Mikroverfahrenstechnik
Volumenmikromechanik
Waferbonden
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200800338
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18882
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18882/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18882/attachment/ATT-1/

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200800338
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18882
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18882/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18882/attachment/ATT-1/

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