Ordnungsreduktion von elektrostatisch-mechanischen Finite Elemente Modellen für die Mikrosystemtechnik: Ordnungsreduktion von elektrostatisch-mechanischen FiniteElemente Modellen für die Mikrosystemtechnik

In der vorliegenden Arbeit wird eine Prozedur zur Ordnungsreduktion von Finite Elemente Modellen mikromechanischer Struktur mit elektrostatischem Wirkprinzip entwickelt und analysiert. Hintergrund der Ordnungsreduktion ist eine Koordinatentransformation von lokalen Finite Elemente Koordinaten in glo...

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Bibliographic Details
Main Author: Bennini, Fouad
Other Authors: Dötzel, Wolfram
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 2005
Subjects:
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200501368
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