Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren

Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren

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In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen Anregungssignal ein schmales Band...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Scheibner, Dirk
Other Authors: Technische Universität Chemnitz
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 2005
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/620
ddc:620
Maschinenschwingung
Messsystem
Mikromechanik
Resonanzschwingung
Schwingungsspektrum
Sensor-Array
Zustandsüberwachung
Resonanzabstimmung
SCREAM
frequenzselektiv
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500197
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Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren
description In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen Anregungssignal ein schmales Band heraus und unterdrückt die anderen Frequenzbereiche. Auf diese Weise werden ohne Fourier-Transformation direkt spektrale Informationen gewonnen. Weiterhin sind die Resonanzfrequenz und damit der Messbereich mittels elektrostatischer Kräfte in einem weiten Bereich abstimmbar.
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Scheibner, Dirk
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