Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren

In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen Anregungssignal ein schmales Band...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Scheibner, Dirk
Other Authors: Technische Universität Chemnitz
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 2005
Subjects:
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500197
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18276
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18276/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18276/attachment/ATT-1/